元朝建立后，在中书省下设立照磨一员，正八品，掌管磨勘和审计工作，另肃政廉访司中负责监察的官员也称照磨，“纠弹百官非违，刷磨诸司文案”（《元典章》）。在此之外，元朝政府在其他机关，上自朝廷六部、御史台、枢密院等院、光禄寺等寺、太府监等监、大司农府等府及诸卫诸亲军，下至行中书省、肃政廉访司、宣慰使司、安抚司、都漕运使司、都转运使司、诸总管府等大多数官署皆置照磨。负责对本部门的收支进行审计。除都察院不置照磨外，皆沿袭宋制，以照磨掌照刷卷宗。

文卷监察御史，详细照刷后，根据其检查情况，分别注明结论，没有上述错误的，在刷尾纸上注明“照过”，检查出差错的注明“伪错”，超过规定范围呈现的注明“稽迟”，负责照刷的官员，要在文卷上盖印署名，以表示负责，并对办理完毕照刷无误的问卷，表明“已绝”字样，对伪错稽迟问卷，表明“未绝”字样，照刷完毕后，要将结果报请上级，按例对主管官员进行奖惩。